草間企画 ジーフロイデ株式会社

東京都世田谷区桜新町1-18-14 エクセル桜新町304 TEL:03-5426-2607


①測定手法


非球面レンズは最近ではデジタルカメラを始め、多くの光学系で多用される様になりました。
加工方法は研削や成型等がありますが、設計図面上の指示値はいわゆる<Sag値>です。
これを評価する為の面形状測定機は多く存在しますが光学素子としての性能(透過波面)を測れる装置はこれまでありませんでした。

㈱清原光学の非球面干渉計<ANI-Z1>は参照レンズにヌルミラーを用いる事で非球面レンズの透過波面測定を可能としています(左図、クリックで拡大)。これに依って形状評価では発見出来ないレンズ内部の問題が明確になります。

②キヤリア干渉法の採用

一般的な干渉計測で用いられる位相シフト法は高精度ですが外部振動に弱く、測定中の数秒間は振動を遮断する必要があります。この干渉計で採用している解析手法は1枚の画像から波面を計算するので画像取り込み時間の間(0.2ms)さえ振動が抑えられれば正確な測定ができます。これによって加工現場や調整中でのリアルタイム測定が可能となりました。


②サンプルの非球面軸アライメントに関して

非球面測定では干渉計本体側の測定光軸とサンプル側の光軸との<シフトチルト>が課題となります。本装置ではここに2つの工夫を設けており、それは

1)ヌルミラーに平面部を設ける → 平行出しによるチルト調整
2)コマ成分でシフト調整 → コマ収差量とシフト量は比例関係

以上の2つでシフトチルトのアライメントを容易にしています。


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