ジーフロイデ株式会社
東京板橋区板橋２-20-5-203
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１）ユニバーサルサンプルチャッキング機構を新搭載（チルト調整機構付き）
２）セラミック製校正ゲージ内蔵ユニット（独立傾き調整機構付き）を新搭載
②ソフトウエア性能
１）３Dトポグラフィー表示機能
２）面頂点高さによる肉厚検出方法
３）合否判定付き検査成績表自動作成機能
４）粗面測定機能
③その他の性能
１）小径レンズ測定機能
２）サンプル衝突防止機構
３）ΔＨ測定機能
４）大口径化対応
５）自動連続測定機構
レンズ径を自在に対応出来るユニバーサルチャッキング機構を用意しています（径はΦ１０〜１００まで）。但しこれは自在な径に対応する為の簡易な機構であり、正確性を求める（例えばマスターに対し±１μｍ以下等）場合は、この機構や精度が重要になりますので要求精度次第で個別設計します。
※１０以下は基本的には専用ホルダーを使ってホルダー自体をチャッキングします。
２）セラミック校正ゲージ内蔵ユニット
本装置では測定には、
１．エンコーダ
２．変位計
の値双方を使います。従って各々の誤差が加算されそのままでは高精度測定は困難です。この課題を克服する為、毎回内蔵されたゲージで校正を行ってから実測します（右上図ではゲージはサンプル奥に配置済）。この工夫で先ほどの鋼球測定精度を達成しています。
本装置の基本解析は３D解析です。今回からは両面頂点の３Dを１画面内に出力します。
２）面頂点高さによる肉厚検出方法
本装置では肉厚測定時に『斜め測定』をしない様、平行平面板を使って傾き調整を行っています。
生産ラインで使う場合、検査基準に対する合否判定が重要です。 判定基準と合否結果、測定日時、作業者等の一覧表を自動作成し 製造現場で使える様にしています。
４）粗面測定機能
レンズの削り加工中は面は粗面状態です。この時点での肉厚測定も重要ですがそれには変位計側のしきい値調整で測定可能となります。
φ１０以下は専用ホルダーを使って測定します。最近問い合わせの多い事例を２つ紹介致します。
下左画像は内視鏡レンズです。φ２ｍｍのメニスカスです。この事例では肉厚公差は０．４ｍｍ±０．０３ｍｍでしたが合格基準である事が分かります。
一方、下右画像は眼内レンズです。このサンプルは非接触測定が必須です。厚み０．７ｍｍとの事ですがこれも合格基準に達している事が分かります。
小径サンプルに於いては測定エリアの設定が難しくなります。 そこで予めある程度の測定面積で一度測定を行ってからデータトリミングし 必要な部分だけのデータを切り出しします。その流れを下記に示します（φ３ｍｍの事例）
3)スパイクカット機能（メディアンフィルター、画像をクリックして下さい。拡大します）
加工直後で洗浄前レンズでは表面が綺麗でない事もあります。その場合、表面に付着したゴミが小さな突起となり肉厚測定値に影響を及ぼす事もあります。こんな場合のスパイクカット機能があります。簡単に説明しますと、毎回行うサンプリング測定値を演算上で並び替え、その中央値を取得します。依って突発的な異常値は排除されます。 （※但しサンプリング間隔と測定ピッチに依存され毎回完全な除去は困難な場合もあります）
３）サンプル衝突防止機構
サンプルの表面状態次第では反射光が返らず、結果変位計が止まらずレンズに接近し続けてしまう事があります。 こんな場合の為、予めレンズの面情報（設計厚み）を入力しWD位置より接近した場合、変位計を停止させる処理をしています。
ΔH,いわゆる凹面の凹み量測定です。一般的には接触式のデプスゲージで測りますが、この値も ボトムの位置探しが困難であり傷の懸念があります。
※但しこの測定は肉厚とは違って『片側測定』なのでステージ振動の影響を受けやすくなります。
5) メニスカスレンズの肉厚測定（画像をクリックして下さい。拡大します）
この手のメニスカスレンズはデジカメ交換レンズの一番前玉に多用されています。
加工方法は成型非球面の場合が多い様です。この肉厚測定も難測定の対象です。
このCT-GaugeDXではこの様な事例でも最薄位置を自動で検出し、真の肉厚値
測定が可能となります。
６）特注装置（露光機用大型レンズ中心厚測定仕様）
半導体製造装置用の光学系は製造精度が格段に厳しく、使われるガラス材も大口径で柔らかい素材が多く研磨が大変難しいです。又求められる肉厚管理も厳しいですが、これまでそれを正確に測れる測定機が存在しませんでした。弊社はこの課題に挑み、大口径で厚み１０センチを超える肉厚を高精度で測れる仕様を新規設計し、無事納品致しました。製造現場向けのサンプルのレシピ管理も可能です。
販売代理店
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商標登録
この度、「CTgauge」が特許庁により商標登録として正式に認可されましたので、お知らせ致します。
なお弊社の「CTgauge」は「Center Thickness Gauge」中心厚測定機を意味しております。
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