ジーフロイデ株式会社

東京板橋区板橋2-20-5-203

大口径レンズ対応モデル(マニュアル式)CT-GaugeLM 新登場!


半導体露光機用光学系等に使われるレンズは大口径です。しかも求められる性能もカメラレンズとは異なり精度も厳しいです。又硝材入手が困難な昨今測定は非接触が必須です。さらに製造現場では、PCによる難しい作業は避けたい。

そんなご要望にお応えし、開発致しました。
シンプルでとても使いやすい機構になっております。


性能諸元表

1)現場ニーズに合致したマニュアル式操作

昨今、半導体市場は活況が続いています。多忙な製造現場のニーズに合致させる為、複雑な操作は一切排除しました。接触式に近いシンプルな操作感を備え、まるで大きなダイヤルゲージです。下図に測定原理と専用ヤトイによるセンタリングの仕組みを示しました。

2)シンプルな操作感
この装置には非接触の変位計が使われています。この変位計を決められたレンズ表面の位置まで接近させる必要があります。ここをシンプルな操作にしています。画面に表示される変位計からの反射光のピークが所定の範囲に来る用、画面表示化しています。どなたでも簡単に操作出来ます。

3)頂点検出機構を標準装備
大口径仕様とは言え、小径レンズも正確に測れる工夫が施されています。ヤトイ式はRの大きな大口径では有効でも小径でRが小さければ僅かなセンタリング誤差が肉厚誤差に利いてきます。この課題を解決するべくXY微動機構の付いた専用ステージで正確な頂点検出が可能です。


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