コプトウェーブ

干渉縞を数値解析する　KoptWave「コプトウェーブ」

お持ちの縞観察干渉計を数値解析する

・この干渉計、縞観察しか出来ない。
・ピエゾが壊れて修理に高額の費用が掛かる。
・３D解析が出来て数値出力が欲しい！

この課題解決の為、縞しか出せない干渉計のNTSC信号と繋ぐだけで３Ⅾ解析出来るソフトウェアがあります。1枚の画像データから解析するので測定時間が約0.1秒と早く、使用現場で大きなメリットを提供します。

➀振動の多い場所で使いやすい（防振台は要りません）
②リアルタイムで、測定時間が速い
③追加の設備投資が少なく価格も安い

キャリアフリンジ解析とは？

干渉縞解析では原理上、１フリンジ間隔にＣＣＤ画素は４個分が相当します。
※画素４個に対しλ／４が４個＝つまり１波長に相当。
この状態を生み出すにはサンプル側若しくは参照面側を傾けて細かい縞を生成する必要があります。下記はその概念図です。

※但し注意点としては生成した細かい縞の傾き方向（右４５度斜め or 左４５度斜めか）次第で　　
　はサンプルの凹凸が反転してしまう場合があります。その場合は凹凸形状が明らかな
　サンプルで縞の傾き方向を確認しておく必要があります。

主な特徴

解析画面

Zygo干渉計との相関性

お客様の関心事はZygo干渉計と同等性能が出せるのか？と思います。で下記の検証を試みました。共通原器を使って同一サンプルを測りました。

ピエゾに依るフリンジ解析仕様のZygo　ｖｓ　縞観察のみのフジノンＦ６１０＋本解析ソフト

厳密には測定面積が異なるので一概には言えませんが少なくとも３Ｄ解析画像は両者同等の
様相を示せました（下記）